主要规格及技术指标

"Probe Station
Weight Around 60kg with Microscope
Dimensions: 580mmW*460mmD*500mmH
6"" chuck with Central Vacuum Hole and Vacuum rings for Sample holding, Central hole can be 250 micron Dia. minimum
Coaxial Stage X-Y Travel 6""-6"" with resolution 10 micron each axis with lock
Standard Chuck Theta 360 Degree Backlash Free Lever Handle with Lock
Chuck quick Up/Down 4 mm with probing height adjustable
Microscope X-Y Travel 2"" x 2"", 1 micron Resolution
For Probing Height Adjustable Specifically for Probe Card Tip Overdrive Setup

Microscope
E.P. 10X/22X
Cold Light Fiber Reflected Illuminator: 12V/150W
Microscope X-Y Travel 2"" x 2"" 1 micron Resolution
Microscope Coarse Z Travel 50.8 mm
Long Working Distance, Plan Apo Objectives
Objective: 2/5/10/20X (working distance: 34.0/45/34/30.8mm)

HOT CHUCK
6"" chuck,temp range :RT-200 degree C
Low Noise DC Powered Chuck
Vacuum Chuck
PID Controller Resolution 0.1 degree C
Temp. Dift: ≤0.01%FS/℃
Temp. Deviation

Micro-positioner SS-40-T
Magnet Base with Switch
Linear X-Y-Z Travel 12mm-12mm-12mm
Linear Motion
Probing Inclination:0-30°
Swiss made screw
2 Micron Resolution

Micro-positioner SS-100
Magnet Base with Switch
Linear X-Y-Z Travel 12mm-12mm-12mm
Linear Motion
Probing Inclination:0-30°
Swiss made screw
0.7 Micron Resolution


探针台
包含显微镜重量约60公斤左右
尺寸: 580mmW*460mmD*500mmH
卡盘台采用便捷的同轴调节，X/Y方向的行程是:6英寸*6英寸,精度:10micron，均带锁死旋钮
卡盘可以360度无间隙旋转,带有锁死装置
卡盘台可以上下快速升降4mm，便于样品快速分离探针
可调节显微镜在 X-Y 平面2"" x 2"" 范围内移动,精度1微米（系统不包含显微镜）
可升降调节适合加装探针卡

GX-6 长工作距离金相显微镜
目镜倍率：10倍/22倍
冷光源光纤反射照明器:12V/150W
显微镜 X-Y 平面移动范围2"" x 2"" 精度1微米
显微镜 Z 轴移动行程 50.8 mm
长工作距离,平场复消色差物镜
物镜: 2/5/10/20X (工作距离: 34.0/45/34/30.8mm)

HT-200-6 加热台（同轴卡盘）
•6英寸卡盘,温度范围：室温到200摄氏度
•直流电源低噪音
•真空吸附：1.中央吸附孔 2.二英寸盘面 3.四英寸盘面
•PID温度控制器分辨率:0.1℃
•温度漂移：≤0.01%FS/℃
•温度误差：室温加温到300度，任何一区段+-1%
•6"" 卡盘，采用中心吸附孔和多圈吸附环固定样品，均独立控制，中心吸附孔最小可以选择250微米。
设定温度大于300度 +-1.5%

SS-40-T 探针座
•磁力吸附,带磁力开关
•X-Y-Z 方向的移动行程分别为12mm
•线性移动
•可以调节点测角度：0-30°
•瑞士制造精密牙具
•精度2 微米

SS-100 探针座
•磁力吸附,带磁力开关
•X-Y-Z 方向的移动行程分别为12mm
•线性移动
•可以调节点测角度：0-30°
•瑞士制造精密牙具
•精度0.7 微米
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主要功能及特色

Features
1. Gantry design of the Microscope
2. The Microscope can be tilted or pneumatic lifted to change objective lens easily
3. Can be upgraded to do RF, high current testing and laser repair applications.
4. High moving accuracy

Applications:IC/LD/LED/PD test, PCB / Packaged device test, RF test etc.

特色
1.显微镜龙门柱式设计，可使显微镜在平面内移动。
2.显微镜可倾仰或气动升降，便于更换物镜。
3.可升级做射频，大电流方面的测试和激光修复应用。
4.同轴驱动卡盘，移动精度高。

应用：芯片及LD/LED/PD测试，PCB/封装器件测试，射频测试等。

主要附件及配置

无