主要规格及技术指标

该设备为科研组合设备，包含相机组（固定资产编号：2023103001367）、LED点光源（固定资产编号：2023103001368）、位移台-针尖（固定资产编号：83599）、单轴位移台和控制器组合套件-针尖（固定资产编号：83598）、位移台-样品（固定资产编号：83600）、皮安表（固定资产编号：83606）。总体组合为一整套EGaIn观测机。主要用于进行调控微纳级别的间隙，然后进行测量的设备

VAP10/M 纵向位移台-针尖 的主要技术参数：
1. 运动方向：垂直（Z轴）
2. 负载能力：最大 10 kg
3. 行程范围：0 - 100 mm
4. 分辨率：0.1 µm（取决于驱动器和控制系统）
5. 重复定位精度：±1 µm
6. 直线度：±2 µm/100 mm
7. 平行度：±2 µm/100 mm
8. 驱动类型：手动或电机驱动（可选）
9. 导向类型：精密交叉滚柱导轨
10. 台面尺寸：120 mm x 120 mm

CZF8-60 位移台-样品 的主要技术参数：
1. 运动方向：垂直（Z轴）
2. 负载能力：最大 10 kg
3. 行程范围：0 - 300 mm
4. 分辨率：0.01 mm（取决于控制系统）
5. 重复定位精度：±0.02 mm
6. 直线度：±0.05 mm/100 mm
7. 平行度：±0.05 mm/100 mm
8. 导向类型：精密滚珠丝杠
9. 台面尺寸：200 mm x 200 mm

KPZNFL5/M-NanoFlex™单轴位移台和控制器组合套件-针尖 的技术参数：
1. 运动方向：单轴（X轴）或多轴（XY轴、XYZ轴可选）
2. 负载能力：最大 5 kg
3. 行程范围：0 - 25 mm（单轴）
4. 分辨率：0.1 nm（取决于驱动器和控制系统）
5. 重复定位精度：±5 nm
6. 直线度：±0.1 µm/25 mm
7. 平行度：±0.1 µm/25 mm
8. 驱动类型：压电陶瓷驱动器（Piezo Drive）
9. 控制方式：闭环控制（集成传感器反馈）
10. 控制接口：模拟电压输入（0-10 V）或数字接口（RS232/USB）
11. 台面尺寸：100 mm x 100 mm（单轴）

Keithley Model 6487 皮安表
1. 测量范围：电流测量范围从 2 nA 到 20 mA
2. 分辨率：最低 10 fA（飞安）
3. 测量范围：2 nA 至 20 mA（共 8 个量程）
4. 分辨率：10 fA（在 2 nA 量程）
5. 精度：±(0.3% 读数 + 6 位最低有效数字)
6. 电压源范围：0 至 500 V（可调）
7. 电压测量范围：0 至 500 V
8. 分辨率：1 mV
9. 精度：±(0.1% 读数 + 0.02% 量程)
通信接口：GPIB：支持 IEEE-488 标准、RS-232：支持串行通信、USB

This equipment is a research combination that contains a camera set (FTN: 2023103001367), LED point light source (FTN: 2023103001368), displacement table - needle tip (FTN: 83599), single-axis displacement table and controller combination kit - needle tip (FTN: 83598), displacement table - sample ( Fixture No. 83600), and Pian table (Fixture No. 83606). The overall combination is a complete EGaIn observatory. Equipment primarily used to perform modulation of the gap at the micro- and nano-scale, followed by measurements

The main technical parameters of the VAP10/M Longitudinal Displacement Table - Pinpoint:
1. Direction of movement: vertical (Z-axis)
2. load capacity: max. 10 kg
3. Travel range: 0 - 100 mm
4. Resolution: 0.1 µm (depending on drive and control system)
5. Repeat positioning accuracy: ±1 µm
6. Straightness: ±2 µm/100 mm
7. parallelism: ±2 µm/100 mm
8. Drive type: manual or motorized (optional)
9. Guidance type: precision crossed roller guideway
10. Table size: 120 mm x 120 mm

The main technical parameters of CZF8-60 Displacement Table - Sample:
1. Movement direction: vertical (Z-axis)
2. load capacity: maximum 10 kg
3. travel range: 0 - 300 mm
4. resolution: 0.01 mm (depending on the control system)
5. Repeat positioning accuracy: ±0.02 mm
6. straightness: ±0.05 mm/100 mm
7. parallelism: ± 0.05 mm/100 mm
8. Guiding type: precision ball screws
9. Table size: 200 mm x 200 mm

KPZNFL5/M-NanoFlex™ Single-Axis Displacement Stage and Controller Combo Kit - Needle Point Technical Data:
1. Direction of motion: single-axis (X-axis) or multi-axis (XY-axis, XYZ-axis optional)
2. load capacity: maximum 5 kg
3. travel range: 0 - 25 mm (single-axis)
4. Resolution: 0.1 nm (depending on driver and control system)
5. Repeat positioning accuracy: ±5 nm
6. Straightness: ±0.1 µm/25 mm
7. Parallelism: ±0.1 µm/25 mm
8. Drive type: piezo drive (Piezo Drive)
9. control mode: closed-loop control (integrated sensor feedback)
10. Control interface: analog voltage input (0-10 V) or digital interface (RS232/USB)
11. table size: 100 mm x 100 mm (single axis)

Keithley Model 6487 Picoammeter
1. Measuring range: current measurement from 2 nA to 20 mA
2. Resolution: 10 fA minimum (femtoampere)
3. Measuring range: 2 nA to 20 mA (8 ranges)
4. Resolution: 10 fA (in 2 nA range)
5. Accuracy: ± (0.3% of reading + 6 lowest significant digits)
6. Voltage source range: 0 to 500 V (adjustable)
7. Voltage Measurement Range: 0 to 500 V
8. Resolution: 1 mV
9. Accuracy: ± (0.1% reading + 0.02% range)
Communication interface: GPIB: support IEEE-488 standard, RS-232: support serial communication, USB

主要功能及特色

该设备主要用于科研用途，其主要的功能是进行调控微纳级别的间隙，然后进行测量的设备。

This device is mainly used for research purposes and its main function is to carry out the regulation of the gap at the micro and nano level and then measure the device.

主要附件及配置

相机组（固定资产编号：2023103001367）、LED点光源（固定资产编号：2023103001368）、位移台-针尖（固定资产编号：83599）、单轴位移台和控制器组合套件-针尖（固定资产编号：83598）、位移台-样品（固定资产编号：83600）、皮安表（固定资产编号：83606）

Camera set (FTN: 2023103001367), LED point light source (FTN: 2023103001368), displacement table - needle tip (FTN: 83599), single axis displacement table and controller combo kit - needle tip (FTN: 83598), displacement table - sample (FTN: 83600)、Pian meter (Fixed Asset No. 83606)