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Magnetron sputtering machine_高真空多靶磁控溅射镀膜机
Magnetron sputtering machine_高真空多靶磁控溅射镀膜机
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联系人:  Yanfei Qi , Hong Chen , Chenglong Li

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电话:   81888775

Low Pressure Chemical Vapor Deposition(LPCVD)_艾科威低压化学气相沉积设备系统
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PE-ALD Atomic Layer Deposition System Equipment (ICP Plasma Type)_PE-ALD_原子层沉积系统设备(ICP等离子体型)
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Inductively Coupled Plasma Etcher_感应耦合等离子体干法刻蚀机
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联系人:  Yanfei Qi , Hong Chen , Chenglong Li

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High vacuum magnetron sputtering coating equipment_高真空磁控溅射镀膜设备(DC-2 RF-1)
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联系人:  Yanfei Qi , Hong Chen , Xiaoyu Huang

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电话:   81883233

High vacuum magnetron sputtering coating equipment_高真空磁控溅射镀膜设备(DC-1 RF-2)
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联系人:  Yanfei Qi , Hong Chen , Xiaoyu Huang

地址:   Public Building P016

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High vacuum electron beam evaporation coating machine_高真空电子束蒸发镀膜机
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联系人:  Yanfei Qi , Hong Chen , Chenglong Li

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电话:   81888775

Maskless UV lithography machine (including computer)_无掩膜紫外光刻机(含电脑)
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New Energy Power Generation Technology Development, Design, and Training System_新能源发电技术开发设计与实训系统
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New Energy Power Generation Technology Development, Design, and Training System_新能源发电技术开发设计与实训系统
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